这个堡垒的防御体系是多层次、系统性的，涵盖了气流控制、物理清洁、材料科学、气体纯化以及精密设计等诸多方面。一、 第一道防线：超净环境营造与气流管理设备并非在真空中运行，它需要与外界交换物质（如晶圆、人员操作）和能量（如电力、冷却）。因此，其首要任务是在自身内部

半导体 半导体设备 ffu ulpa 风淋 2025-09-23 19:42  2